壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是將直線馬達(dá)式壓電螺釘與滑臺(tái)相結(jié)合，采用壓電螺釘?shù)母呔冗\(yùn)動(dòng)控制滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)。多個(gè)壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)間可通過(guò)組維方式形成二維或三維運(yùn)動(dòng)控制。
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