P31系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊力的高可靠性壓電促動(dòng)器，被集成在成熟的、經(jīng)過FEA建模分析的鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。 壓電促動(dòng)器、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)及傳感器是免維護(hù)的，不易損壞且提供超高的可靠性。先進(jìn)的鉸鏈/杠桿設(shè)計(jì)將慣性zui小化，允許25mrad的大角度俯仰/偏轉(zhuǎn)范圍（可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad），且具有非常快的響應(yīng)速度，在毫秒級(jí)范圍。 除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動(dòng)態(tài)，P31還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應(yīng)變傳感器（SGS）實(shí)現(xiàn)了的位置控制，具有優(yōu)異的重復(fù)定位精度，通常為滿行程的0.2%。 | 壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運(yùn)動(dòng)）是基于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)，具有共面軸及移動(dòng)面。四個(gè)執(zhí)行機(jī)構(gòu)（壓電促動(dòng)器）以90°角平分放置，成對(duì)的差分控制分布。兩對(duì)差分驅(qū)動(dòng)壓電促動(dòng)器在較大溫度范圍內(nèi)提供zui高可實(shí)現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運(yùn)動(dòng)是由兩對(duì)壓電促動(dòng)器以推拉模式來實(shí)現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。 
|
點(diǎn)擊放大
