電感測微儀硬件系統由前相通道、單片機系統、人機通道電路組成，前相通道電路的作用是把電感式傳感器轉換成的電信號進行放大、分檔、相敏檢波等處理后供A/D采樣用。它包括正弦波振蕩電路，交直流放大電路，相敏檢波電路，A/D轉換電路。單片機系統及人機通道電路主要實現把前相通道電路傳送的模擬信號經A/D轉換后，送入單片機系統進行數據處理，實時地顯示測量結果，按不同的功能鍵可以實現不同的功能。
電感測微儀特點：
⑴在運算放大器的選擇上，本儀器均采用低漂移、低噪聲的運算放大器OP07.由OP07組成了集成化的交、直流放大器電路，雙T網絡正弦波發生器，集成的相敏檢波電路和濾波器等，省去了傳統電感測微儀使用的二極管、三極管和變壓器等，使得由二極管和三極管造成的非線性特性以及飽和壓降和反向電流得以改善；省去變壓器，調試制作比較方便，重量也較輕，可靠性增強。
⑵本儀器選用了逐次比較式12位A/D轉換器AD574，它的非線性誤差小于±1/2LBS或±1LBS，一次轉換時間約為25μs ，因其片內配有三態輸出緩沖器，可直接與各種典型的8位和16位微處理器相連，滿足了測量精度和實時顯示的要求，應用非常方便。
⑶本儀器采用了專業的顯示器及鍵盤接口芯片8279，單個芯片就能完成鍵盤輸入和LED顯示控制兩種功能，顯示方式為動態顯示，6位LED顯示器可以實現顯示測量結果。整機設有5個功能鍵，能夠實現如下功能：顯示被測工件的峰值，并把峰值存入數據存儲器，留待處理；可以進行統計分析，顯示一百個工件分組后各組的平均值和極值，直方圖的頻數，總平均值和極值；可以進行測量和相對測量的轉換；可以設定被測工件的上、下偏差，當被測工件的峰值超出設定值時，就要報警顯示；可以實現±500μm和±30μm檔的轉換。
