S23.ZT0S/K25小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡
S23.ZT0S/K25系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一款小體積三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡，可進(jìn)行θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)和Z向升降運動，偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)±0.5mrad/軸 ，直線位移可達(dá)20.5μm，能夠滿足多種角度對光路調(diào)節(jié)的需求?？蛰d諧振頻率可達(dá)4.2kHz，可以在短的時間內(nèi)完成快速響應(yīng)，實現(xiàn)高頻次的光路調(diào)整。閉環(huán)偏擺分辨率可達(dá)0.03μrad，直線可達(dá)1nm，能夠精準(zhǔn)把控極其微小的角度變化，確保光路調(diào)節(jié)的超高精準(zhǔn)度。小體積的緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計，能夠更輕松集成到各種對空間要求嚴(yán)苛的光學(xué)系統(tǒng)中，無論是小型化的科研儀器，還是對設(shè)備尺寸有嚴(yán)格限制的工業(yè)應(yīng)用場景，都能高度契合，為系統(tǒng)集成化設(shè)計提供了極大的靈活性。
產(chǎn)品特點
θx、θy偏轉(zhuǎn)，Z軸升降
偏擺位移可達(dá)±0.5mrad/軸
直線位移可達(dá)20.5μm
空載諧振頻率可達(dá)4.2kHz
中心通孔φ25.4mm
典型應(yīng)用
航空航天——衛(wèi)星激光通信
在衛(wèi)星光通信中，由于大氣中的環(huán)境因素（如折射、散射、大氣湍流等）和激光束自身光束窄、發(fā)散角度小等問題，使得激光光束在瞄準(zhǔn)過程中容易偏離目標(biāo)，導(dǎo)致通信狀況差。壓電偏擺鏡由于精度高、響應(yīng)速度快的特點可以很好的校正誤差。
精密加工——激光加工
在微米級小孔的超快激光加工應(yīng)用中，對精度的要求非常高，壓電偏轉(zhuǎn)鏡由于其精度高、響應(yīng)速度快等特點，集成在激光加工系統(tǒng)中，可以將加工精度低、孔徑不圓滑等問題解決。
顯微成像——超分辨顯微成像
在光學(xué)顯微鏡應(yīng)用中，壓電偏轉(zhuǎn)鏡可以在系統(tǒng)內(nèi)帶動鏡片偏轉(zhuǎn)，進(jìn)行光路轉(zhuǎn)向調(diào)整，用于獲取更清晰、均勻且對比度更高的圖像，大幅提高顯微鏡的分辨率和精度，從而實現(xiàn)更加精準(zhǔn)的樣品觀察和分析。
| 型號 | S23.ZT0S/K25 |
| 運動自由度 | θx、θy、Z |
| 驅(qū)動控制 | 3路驅(qū)動，3路傳感/3路驅(qū)動 |
| 標(biāo)稱直線行程范圍 （0~120V） | 16.5μm |
| Max.直線行程范圍 （0~150V） | 20.5μm |
| 標(biāo)稱偏擺角度（0~120V） | ±0.4mrad/軸（≈±82秒） |
| Max.偏擺角度（0~150V） | ±0.5mrad/軸（≈±103秒） |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 通孔 | 25.4mm |
| 直線分辨率 | 1nm/0.5nm |
| 偏擺分辨率 | 0.03μrad（<0.01 秒） /0.01μrad（<0.01 秒） |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | θx0.03%F.S. /θy0.06%F.S. |
| 空載諧振頻率 | 4.2kHz |
| 帶載諧振頻率@50g | θxθy3.7kHz/Z2.3kHz |
| 承載能力 | 50g |
| 靜電容量 | 2μF/軸 |
| 階躍時間 | 10ms@50g，滿幅值 |
| 材質(zhì) | 鋼 |
| 出線長 | 1.5m |
| 重量 | 250g |
E70.D3S/C3K-L壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電控制器，它采用DC24V3A直流供電，帶寬10kHz/通道，可通過RS-232/422、USB、百兆以太網(wǎng)進(jìn)行數(shù)字通信，非常適用于驅(qū)動S23.ZT0S/K25壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
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