H60.XYZTR5六自由度并聯機構
隨著科研及工業領域科技的不斷提升，對于靈活運動且高精密的定位系統需求越來越多。芯明天研發生產壓電納米定位臺可產生1~6軸運動，可直線，可偏轉，且速度快、精度高，可廣泛用于半導體、光學、醫療、航空航天、生物科技等微納操作領域。
H60.XYZTR5六自由度并聯機構
H60.XYZTR5系列六自由度并聯機構壓電納米定位臺，是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源，通過六支壓電促動器的協調伸縮，配合先進的控制算法，實現空間內1~6維的精密直線及角度運動，臺體結構緊湊。由于采用了并聯運動設計，它可以執行復雜的多軸運動軌跡，閉環版本配置高精度傳感器對位置進行實時監測反饋，實現納米級的精密定位控制，具有高剛度、高可靠性和重復性。此版本為真空版本，可進行真空環境適配。產品外觀如下圖所示。
產品特點
六自由度運動
大承載
閉環定位精度高
誤差無積累
產品應用
半導體設備
光學
晶圓檢測微加工
醫療
航空航天
技術參數
| 型號 | H60.XYZTR5S/K |
| 運動自由度 | X、Y、Z、θx、θy、θz |
| 驅動控制 | 6路驅動，6路傳感 |
| X、Y軸標稱行程范圍（0~120V） | ±40μm |
| Z軸標稱行程范圍（0~120V） | ±27.5μm |
| θx、θy軸偏擺角度范圍（0~120V） | ±0.6mrad |
| θz軸旋轉角度范圍（0~120V） | ±0.8mrad |
| θx、θy、θz軸偏擺分辨率 | 優于0.5μrad |
| X、Y、Z軸位移分辨率 | 優于0.5nm |
| 閉環線性度 | 優于0.1%F.S. |
| 閉環重復定位精度 | 優于0.1%F.S. |
| 結構形式 | 六自由度并聯式 |
| 驅動方式 | 壓電陶瓷促動器驅動 |
| 承載能力 | 5kg |
| 重量 | 1300g |
配套控制器
E70.D6S壓電控制器非常適用于驅動H60.XYZTR5六自由度壓電運動平臺。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器。E70.D6S為2個模塊化E70系列壓電陶瓷控制器級聯形成，單個E70模塊通道數為3通道，最多可級聯32個模塊，達96通道。控制器采用DC24V供電，可通過外部模擬信號或RS-422接口數字通信進行控制、開/閉環可選、集成式PZT&sensor接口便于連接，外部可設定控制功能，操作簡單便捷。
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