基于PZT壓電納米定位臺/移相器調節的3D光纖端面檢測
光纖連接器是光纖與光纖之間進行可拆卸（活動）連接的器件，它把光纖的兩個端面精密對接起來，以使發射光纖輸出的光能量能最大限度地耦合到接收光纖中去，并使由于其介入光鏈路而對系統造成的影響減到最小。光纖連接器作為光通訊無源器件中使用*泛的產品，其質量直接影響到了光纖通訊的傳輸效率和性能。為使其插入和回波損耗以及互換性都能達到*狀態，市面上有很多檢測設備來保證光纖連接器的質量。
傳統的端面檢測儀可以快速檢測端面是否有污染物、劃痕、缺陷等不合格的因素，但是對于某些場合要用的光纖連接器端面，僅靠這些因素的判斷是無法來確定其是否合格和符合要求的。因此可以檢測光纖端面3D參數的技術應運而生。
3D檢測系統及其原理
目前光纖端面的三維參數檢測，常用的方式是光學干涉來進行測量。光學干涉就是根據相干光在空間相遇時，在某些區域始終增強，在某些區域始終減弱，形成穩定的強弱分布。實際測量所用到的3D干涉儀系統就是根據這個原理設計的，其結構如圖1所示。
圖1、光纖連接器端面檢測干涉系統
3D干涉儀系統主要工作原理是由光源射出的光線經半透鏡反射到干涉物鏡，光線聚焦于被檢測光線連接器的端面，經端面反射后與干涉物鏡的反射面反射光線一同透過半透鏡，成像于CCD攝像頭。這時在CCD攝像頭上可以觀察到干涉條紋。CCD攝像頭測得的圖像經圖像卡傳送到計算機進行解析處理。就可以得到需要的測量結果。由計算機經過控制卡及控制回路控制的PZT壓電納米定位臺/移相器用于移動干涉物鏡以產生位相移動。
對于光纖端面形狀的測量，一般采用的方式是解析精度較高的位相移法。位相移法的原理是，通過控制PZT壓電納米定位臺/移相器移動干涉物鏡產生位相移動，每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋，根據干涉條紋的分布計算出端面形狀。
圖2、光纖端面3D形貌
從上述原理中可了解到，PZT壓電納米定位臺/移相器的步進精度決定著3D干涉儀系統的檢測精度。
芯明天生產制造的PZT壓電納米定位臺、壓電促動器、壓電移相器產品已廣泛應用于干涉系統，在相移調節過程中可以提供納米級的步進分辨率和精度，使得干涉儀系統測試性能更加穩定、精確。
芯明天壓電促動器/納米定位臺/移相器
壓電陶瓷促動器 - 小體積型移相器
芯明天壓電陶瓷促動器具有體積小、納米級高精度、毫秒級響應速度等特點，它的外徑可小至9mm。搭配芯明天E53系列小體積壓電控制器，更適于受限空間的干涉系統。
壓電納米定位臺 - 適于籠式結構
P70系列壓電納米定位臺是專為籠式結構設計，四角預留籠式結構安裝孔。標品具有XY運動版本（行程17μm）、Z向運動版本（行程8μm），也可選擇XYZ運動版本。
壓電物鏡定位器 - 物鏡步進
芯明天具有多種壓電物鏡定位器，專用于物鏡的
納米級步進調節，它既可集成于籠式結構，也可以集成于任意干涉系統，外形結構緊湊，行程50μm至1mm任意選擇，高達2.5nm的分辨率可滿足干涉系統的步進精度要求。
壓電式移相器 - 小通孔至大孔徑
芯明天壓電移相器的種類可多達上百種型號，而針對大孔徑激光干涉儀，芯明天專門設計了P77系列壓電式移相器，孔徑由φ36mm至φ310mm可選，且可按需定制，可完成毫秒范圍內0.5nm步進的快速調節。
