壓電移相器是專(zhuān)為光學(xué)檢測(cè)移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，中心通孔直徑為65mm，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z軸50μm的位移行程，負(fù)載可達(dá)2kg，無(wú)摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，非常適于鏡頭的光學(xué)檢測(cè)等應(yīng)用。
菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用廣泛的表面輪廓檢測(cè)技術(shù)之一，它有很多優(yōu)點(diǎn)，如更高的測(cè)試靈敏度和準(zhǔn)確度、非接觸式不會(huì)對(duì)被測(cè)件造成表面損傷、大量程范圍、抗干擾能力強(qiáng)、操作方便，因此在精密測(cè)量、精密加工和實(shí)時(shí)測(cè)控的諸多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
在被測(cè)面前有參考面，兩面間距非常近，以保證這兩個(gè)平面反射的光線具有相干性。作為參考的反光塊的上表面與下表面間很小的夾角，是用于保證上表面的反光不參與干涉條紋的形成。參考面與待測(cè)面的反光發(fā)生干涉后產(chǎn)生干涉條紋，由成像系統(tǒng)來(lái)接收。分析條紋的形狀就能確定待測(cè)面的表面情況是否有缺陷。
在菲索干涉儀中，移相誤差的存在會(huì)極大地影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，為了保證移相步進(jìn)的精度，一般選用壓電移相器（PZT移相器）。
可創(chuàng)建一種單色點(diǎn)光源菲索干涉儀的移相結(jié)構(gòu)，由PZT壓電移相器進(jìn)行移相步進(jìn)調(diào)整，成像系統(tǒng)進(jìn)行成像，同時(shí)在毛玻璃屏上可觀察干涉條紋情況。毛玻璃上方的透鏡加入前可調(diào)節(jié)光斑的重合，加入后可觀察干涉條紋情況，便于初始化設(shè)置。
壓電移相器的作用是用于調(diào)節(jié)參考面的步進(jìn)移動(dòng)，以便于采集多幅干涉圖像。在初始化調(diào)節(jié)設(shè)置好后，開(kāi)始測(cè)量。壓電移相器控制器發(fā)送電壓給移相器，使之按照的步數(shù)及步進(jìn)距離移動(dòng)，當(dāng)移相器到達(dá)某既定位置時(shí)，會(huì)對(duì)圖像進(jìn)行一次采集，并存儲(chǔ)滿足移相算法要求的若干幅干涉圖，然后再由計(jì)算機(jī)根據(jù)采集到的干涉圖像進(jìn)行計(jì)算及面形求解。
