邁克爾遜干涉儀中的壓電移相器
邁克爾遜干涉儀的原理是將一束入射光經(jīng)過分光鏡分為兩束后，各自被對應的平面鏡反射回來，因這兩束光的頻率相同、振動方向相同且相位差恒定（即滿足干涉條件），所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)節(jié)干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現(xiàn)，從而能夠形成不同的干涉圖樣。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。該原理可用于研制多種測量儀器。
下圖為一款搭建好的邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)，該系統(tǒng)中采用了芯明天P63.Z壓電納米定位臺作為移相器，移相行程為 0~6.8μm，移相的分辨率可達0.1nm，滿行程6.8μm運動范圍的響應速度為0.3ms，納米級步進掃描的速度將更快。
P63.Z壓電納米定位臺通常的使用方式為移動面朝上放置，延縱向產(chǎn)生運動位移，運動如下圖中所示。但在該系統(tǒng)中，采用的是橫向放置方式，延水平方向產(chǎn)生運動位移。
當Z向壓電運動平臺進行水平使用時，它的受力情況會發(fā)生變化，在您訂購時，請務必告知，我們會根據(jù)使用情景對內(nèi)部做相應調(diào)整，以更好適應使用環(huán)境，提高可靠性。
P66.Z納米定位臺的運動示意圖
（注：為便于觀看，運動范圍已被放大）
P63.Z壓電納米定位臺技術參數(shù)
型號：P63.Z7S
運動自由度：Z
標稱行程（0~120V）：5.5μm
行程范圍（0~150V）：6.8μm
傳感器類型：SGS
閉/開環(huán)分辨率：0.2/0.1nm
閉環(huán)線性度：0.4%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.2%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<5μrad
推/拉力：10/2N
運動方向剛度：1.5N/μm
空載諧振頻率：2kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間：1.5/0.3ms
滿行程閉環(huán)空載工作頻率：達200Hz
承載：0.8kg
靜電容量：0.8μF
材質：鋁
重量：70g
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